LTUF300 激光晶圓自動切割系統(tǒng)
制造商:中國(中科鐳特)
主要功能:激光劃片、開槽
LTUF300S 是一臺集多功能性和智能化于一體的激光晶圓自動切割系統(tǒng)。多功能體現(xiàn)在可用于LOW-K, WLP 等多種表面材料的晶圓切割。智能化體現(xiàn)在此系統(tǒng)配備CCD 圖像定位系統(tǒng)、自動校準系統(tǒng)、隨動系統(tǒng)、全自動上下料系統(tǒng)和常規(guī)應用的數(shù)據(jù)庫自動調(diào)用系統(tǒng)。
一、高可靠的批量生產(chǎn)系統(tǒng)
◆ 抗振的大理石平臺支撐結(jié)構(gòu)
◆ 低維護成本的飛秒激光器
◆ 獨有的激光表切技術(shù)
◆ 全自動上下料系統(tǒng)
◆ 高精度長壽命的運動平臺
◆ CCD定位系統(tǒng)使加工智能化
◆ 精密的陶瓷微孔吸盤
◆ 自動對焦系統(tǒng)保證加工的焦點位置
◆ 科學的結(jié)構(gòu)保證加工穩(wěn)定性
◆ 用戶界面友好軟件功能強大
二、技術(shù)特點
高性能激光器 進口飛秒激光器,光束質(zhì)量好、聚焦光班小、切割質(zhì)量高。 |
超高切割精度 高精度進口直線電機運動系統(tǒng),切割精度控制在微米量級。 |
完全自動定位 機器視覺抓取Mark點定位,精度高,無需人工干預,操作簡單,效率高。 |
圖檔處理方便 切割圖檔只需使用AutoCAD等處理即可使用。 |
大理石結(jié)構(gòu) 全大理石框架結(jié)構(gòu),減震隔離設(shè)計,保證光路穩(wěn)定,高速運動。 |
激光防護系統(tǒng) 符合工業(yè)標準的激光防護結(jié)構(gòu),保證操作人員安全。 |
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